Sistemas microelectromecánicos oleh Fouad Sabry

"Sistemas microelectromecánicos" es un recurso esencial para cualquier persona involucrada en el campo de la ciencia robótica, que evoluciona rápidamente. Escrito por Fouad Sabry, este libro ofrece una exploración integral de los sistemas microelectromecánicos (MEMS), que son el corazón de la robótica moderna, la automatización y la tecnología avanzada. Este libro es una guía valiosa para profesionales, estudiantes, entusiastas y aficionados por igual, que proporciona conocimientos teóricos y aplicaciones prácticas. Si desea comprender cómo los sistemas mecánicos a pequeña escala influyen en la robótica, este libro es una lectura obligada. Con contenido de vanguardia, ofrece más que solo los conceptos básicos, lo que lo convierte en una inversión en su conocimiento que dará sus frutos a largo plazo.

MEMS-Explore los fundamentos de la tecnología MEMS, sus componentes y sus aplicaciones en robótica y más allá.

Fotolitografía-Conozca el proceso crucial de la fotolitografía en la fabricación de MEMS, esencial para diseñar estructuras a pequeña escala.

Fabricación de dispositivos semiconductores-comprenda cómo se fabrican los dispositivos semiconductores, algo crucial para los dispositivos MEMS en robótica.

Grabado isotrópico-sumérjase en el proceso de grabado isotrópico, que da forma a los materiales para MEMS con precisión.

Grabado reactivo-descubra el grabado reactivo, una técnica clave para crear patrones y estructurar materiales MEMS.

Grabado en seco-examine los métodos de grabado en seco que permiten la fabricación precisa de microestructuras en MEMS.

Micromaquinado de superficies-aprenda el proceso de micromaquinado de superficies, que crea estructuras 3D complejas para MEMS.

Micromaquinado en masa-comprenda el micromaquinado en masa y su función en la creación de dispositivos MEMS con características intrincadas.

Grabado reactivo profundo-descubra el proceso de grabado reactivo profundo para crear características profundas y de alta relación de aspecto en MEMS.

Microfabricación-estudie las técnicas de microfabricación, donde el control preciso del material a escala micrométrica es crucial.

Grabado de plasma-explore el uso del grabado de plasma, que permite la eliminación de material de alta precisión para la creación de MEMS.

Grabado (microfabricación)-aprenda las técnicas de grabado esenciales que se utilizan en la microfabricación para la fabricación de MEMS.

Unión adhesiva de obleas de semiconductores-comprenda los métodos de unión adhesiva para integrar obleas de semiconductores en aplicaciones MEMS.

Litografía con esténcil-descubra cómo la litografía con esténcil permite la transferencia de patrones en la fabricación de MEMS, lo que ayuda a la precisión.

Veeco-investigue el papel de las tecnologías de Veeco en el avance de los procesos de fabricación de MEMS.

Centro de nano y microdispositivos-conozca las instalaciones de vanguardia que se especializan en MEMS y nanotecnología.

Unión anódica-Obtenga información sobre la unión anódica, un proceso crucial para crear sellos herméticos en dispositivos MEMS.

Unión eutéctica-Estudie las técnicas de unión eutéctica que garantizan conexiones fuertes y estables en la tecnología MEMS.

Grabado químico asistido por metal-Descubra el proceso de grabado químico asistido por metal utilizado para la creación de patrones de características finas.

Grabado en vapor-Explore el grabado en vapor, una técnica que permite la eliminación precisa de material a escala nanométrica.

Fotorresistencia-Comprenda el papel fundamental de la fotorresistencia en la fabricación de MEMS, lo que permite la creación de patrones finos para estructuras complejas.